Sensorart: Wind Vane, Ausgabetyp: NPN/PNP - Open Collector, Betriebstemperatur: -20°C ~ 60°C (TA),
Sensorart: QCM (Quartz Crystal Microbalance), Ausgabetyp: Frequency, Betriebstemperatur: -25°C ~ 75°C (TA),
Sensorart: Wafer Alignment, Ausgabetyp: Analog, Betriebstemperatur: -10°C ~ 40°C (TA),
