Sensorart: Bubble Detector, Ausgabetyp: PNP - Open Collector, Betriebstemperatur: -25°C ~ 55°C (TA),
Sensorart: Bubble Detector, Ausgabetyp: NPN - Open Collector, Betriebstemperatur: -25°C ~ 55°C (TA),
Sensorart: Liquid Leakage, Ausgabetyp: PNP - Open Collector,
Sensorart: Liquid Leakage, Ausgabetyp: NPN - Open Collector,
Sensorart: Wafer Alignment, Ausgabetyp: Analog, Betriebstemperatur: -10°C ~ 40°C (TA),
Sensorart: Liquid Leakage, Ausgabetyp: NPN - Open Collector, Betriebstemperatur: -10°C ~ 60°C (TA),
Sensorart: Laser Power Monitor, Ausgabetyp: Voltage,